Ion implantation: equipment and techniques - proceedings of the fourth International conference on ion implantation: equipment and techniques, Berchtesgaden, Fed. Rep. of Germany, September 13-17, 1982
- Författare
- Hans ($r1939-) Glawischnig Heiner ($r1941-) Ryssel International conference on ion implantation: equipment and techniques 1982) Berchtesgaden :
- (Ed.: H. Ryssel and H. Glawischnig.)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Springer | 1983 | Tyskland, Berlin, New York | 556 sidor. diagr., ill., tab. |